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復(fù)合式為將亂流式及層流式予以復(fù)合或并用，可提供局部超潔凈的空氣。

(1)潔凈隧道(Clean Tunnel)：以HEPA或ULPA過濾器將制程區(qū)域或工作區(qū)域100%覆蓋使?jié)崈舳鹊燃壧岣咧?0級以上，可節(jié)省安裝運轉(zhuǎn)費用。此型式 需將作業(yè)人員之工作區(qū)與產(chǎn)品和機器維修予以隔離，以避免機器維修時影響工作及品質(zhì)。ULSI制程大都采用此種型式。潔凈隧道另有二項優(yōu)點：A.彈性擴充容易；B.維修設(shè)備時可在維修區(qū)輕易執(zhí)行。

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凈管道(Clean Tube)：將產(chǎn)品流程經(jīng)過的自動生產(chǎn)線包圍并凈化處理，將潔凈度等級提至100級以上。因產(chǎn)品和作業(yè)員及發(fā)塵環(huán)境相互隔離，少量之送風即可得到良好之潔凈度，可節(jié)省能源，不需人工的自動化生產(chǎn)線為適宜使用。藥品、食品業(yè)界及半導體業(yè)界均適用。

并裝局部潔凈室(Clean Spot)：將潔凈室等級10，000~100，000之亂流潔凈室內(nèi)之產(chǎn)品制程區(qū)的潔凈度等級提高為10~1000級以上，工廠通風排煙，以為生產(chǎn)之用；潔凈工作臺、無塵車間、潔凈工作棚、潔凈風柜，層流車即屬此類。

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風機正常運轉(zhuǎn)后，應(yīng)用金屬棒或長柄螺絲刀仔細軸承內(nèi)有噪聲以判斷風機軸承是否損壞或潤滑油中有否混入雜物。待運轉(zhuǎn)一段時間后，可采用表面

溫度計測量軸承溫升。一般滾動軸承的溫度不大于80℃，滾動軸承的溫度不大于60℃。

風機試轉(zhuǎn)一切正常后，應(yīng)再進行連續(xù)運轉(zhuǎn)，運轉(zhuǎn)持續(xù)時常不少于2小時。

2、聯(lián)體調(diào)試

在風機試運轉(zhuǎn)合格并填寫有關(guān)記錄后，還應(yīng)進行風口、防火閥、調(diào)節(jié)閥、密閉閥的聯(lián)體調(diào)試，并對系統(tǒng)中的風口參數(shù)：風量、風壓用風速儀進行測試，并根據(jù)設(shè)計要求啟閉有關(guān)閥門進行反復(fù)調(diào)試直至達到有關(guān)設(shè)計要求。

在調(diào)試達到設(shè)計要求后還應(yīng)進行聯(lián)體不間斷72小時運轉(zhuǎn)，在各系統(tǒng)均正常工作，各參數(shù)值不變情況下可作竣工驗收準備并作好有關(guān)記錄。

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